產(chǎn)品分類
Product CategoryFMS120V系列真空步進(jìn)電機(jī)高精度通用平移臺:在FMS120系列基礎(chǔ)上,我們設(shè)計(jì)了FMS120V系列真空專用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中,在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)行。
FMS80VR真空步進(jìn)電機(jī)高精度整體臺面平移臺:在FMS80R系列基礎(chǔ)上,我們設(shè)計(jì)了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中,在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)?。
FMSZ真空步進(jìn)電機(jī)升降臺:我們開發(fā)的FMSZ系列真空步進(jìn)電機(jī)升降臺。經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),方便與我們的其余產(chǎn)品搭建成多維位移臺。承載高,并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺:我們研發(fā)的?理石龍門雙驅(qū)位移臺,雙向重復(fù)定位精度可達(dá)亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅(qū)結(jié)構(gòu),同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結(jié)合CCD等器件,可做成套設(shè)備交付客戶使用。
FMSXY系列步進(jìn)電機(jī)二維掃描臺:我們研發(fā)的?體化步進(jìn)二維位移臺??刂破骺蓛?nèi)置。雙向重復(fù)定位精度和微步能力*。結(jié)構(gòu)小巧,易于配套集成??膳錁?biāo)準(zhǔn)FMC01系列控制器應(yīng)用,也提供SDK給客戶做?次開發(fā)。
FMSXY系列直線電機(jī)中空二維掃描平臺:我們開發(fā)的此款?維掃描位移臺,采用了直驅(qū)技術(shù),速度快,精度高,承載?。非常適合于需要?維運(yùn)動的設(shè)備和應(yīng)?。配合菲克科技的高性能控制器能實(shí)現(xiàn):位置記憶,位置觸發(fā),任意平?圖形導(dǎo)?。適合與顯微鏡?起使?,同時(shí)提供配套附件,可用于市?上?多數(shù)顯微鏡。
FMSXY系列直線電機(jī)二維掃描臺:我們開發(fā)的整體?維位移臺,應(yīng)用于?些特殊應(yīng)?場合。亞微?級精度,?體化設(shè)計(jì),高可靠性,可用于各種需要?維運(yùn)動的場合。配合FMC04控制器使?,具有微動,高速,低速等特性。
FMSZ-C系列直線電機(jī)升降臺:我們的直線電機(jī)垂直升降臺,可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求,且對Pitch,Yaw要求嚴(yán)苛的應(yīng)?場合。在高精度檢測、精密實(shí)驗(yàn)室基本建設(shè)等應(yīng)用環(huán)境下,F(xiàn)MSZ-C系列升降臺具有結(jié)構(gòu)簡單且擁有優(yōu)秀的微步能力和位置穩(wěn)定性的特點(diǎn)。